3660 Bộ điều khiển lưu lượng khí KOFLOC

Chất khi áp dụng: Khí N2, không khí, H2, He, Ar, O2, CO2, v.v.

Tối đa lưu lượng: Khí từ 10SCCM đến 100SLM

Độ chính xác: ± 1 – 1.5% F.S.

Loại van: Van tỷ lệ điện từ (thường đóng)

Vật liệu bộ phận tiếp xúc với khí: SUS316L, SUS316, Thép không gỉ từ tính, FKM (tùy chọn: NBR hoặc CR)