3200 Bộ điều khiển lưu lượng khí KOFLOC

Chất khi áp dụng: Khí N2, không khí, H2, He, Ar, O2, CO2, v.v.

Tối đa lưu lượng: Khí từ 1SCCM đến 20SLM

Độ chính xác: ± 1 – 1.5% F.S.

Phạm vi lưu lượng phút: từ F.S. 1SCCM trong N2 hoặc tương đương

Giảm thể tích chết nhờ van đệm màng